微纳加工测试公共服务支撑平台是厦门大学最完备的微纳加工和测试平台，拥有洁净室面积近1000平方米。各种石墨烯、纳米材料加工和测试设备50余套，配有高纯供气系统、18MΩ纯水系统及特气报警装置，实行24小时全方位监控。
依照国外同类实验室的标准，平台于2016年进行了洁净室动力保障系统更新改造，实现不间断送、排风和全年24小时高效运行，以维持高稳定性温度和湿度的洁净环境，保障高精密加工设备的高效使用。同时引进最新型微纳和石墨烯加工设备、仪器，可完成最大芯片尺寸8英寸，最小特征尺寸30纳米的微纳加工，并可实现石墨烯、氧化铪、氮化铝等材料的原子层厚度沉积。截至2020年年底，平台拥有单价50万元以上设备18台，10万元以上50万元以下设备14台，设备总价值超过5000万元。
平台目前拥有13名的专职工程师队伍负责洁净间的仪器设备日常使用管理、保养与维护。其中研究生学历以上11名；副高职称以上4名；工龄10年以上11名。
为保障平台的高标准洁净运行，提高设备利用率，平台于2016年进行软、硬件升级，实现了7天24小时不间断运行，并将工程团队分为三组，由业务骨干中的党员担任组长，协调组内工作，实现“一人多台，一台多人，一主多辅”的设备管理模式，以设备运行完好率为核心指标，确保在寒、暑假期间及其他复杂多变情况下平台的稳定高效运行和高效故障灵敏响应。
随着时代的发展，芯片加工测试技能是新时代工科生急需通过实践培养的跨专业通用技能，作为先进制造技术的核心，其重要性和辐射面已远超传统制造实践课程。平台采用MIT、UC Berkerley等高校的标准培养模式，面向研究生、部分本科生开放独立操作权限，使学生通过充分的实践获得操作和创新能力。
在提高学生实践操作方面，平台通过逐台逐项审核设备开放使用的可行性与风险率，编制设备操作说明，录制使用视频，制定突发应急预案，采用“一对一”的设备独立操作培训模式，严把学生培训、考核关，对学生进行操作技能培训的同时，最大限度提高设备安全运行率，学生人为设备故障率低于5%。
在创新课程建设方面，依托平台的科研软、硬件优势，研究院开设校选课《芯片制造和测试技术》。平台工程师参与课程建设，指导学生在薄膜沉积、光刻工艺、刻蚀工艺等多项芯片关键工艺开展实践学习。课程吸引了来自我校化学化工学院、物理科学与技术学院、航空航天学院、电子科学与技术学院、信息学院等院系所的众多本科生和研究生参与，让学生从被动的听取理论知识向实地开展实践学习转化。
平台面向全校开放，已为我校相关院系的180余个课题组提供工艺探索和服务，每年依托平台进行的项目研究可达100多项，年服务师生近5000人次。平台运行机时较饱满，利用水平持续提升，对我校科研发展的支撑作用日益显现。
为推进高校“双一流”建设的学科交叉融合，平台成为我校微纳能源、石墨稀工业技术、微电子等科研成果对外展示的重要窗口。每年相关院系通过平台资源接待国家、省市领导及企业视察参观近百起，接待来访一千余人次。在我校申报石墨烯工程与产业研究院、嘉庚创新实验室（中国福建能源材料科学与技术创新实验室）、国家示范性微电子学院和国家集成电路产教融合创新平台的建设过程中发挥了一定的支撑作用。
通过多渠道的宣传和拓展服务，平台已发展成为福建省、厦门市首屈一指的兼顾微电子、传感器、微能源、纳米材料与器件加工测试技术为一体的大型开放性公共服务平台。服务高校、地方科研院所和企业40余家，并与地方企业成立多个联合实验室，积极开展产业化中试项目，为科技创新和社会需求服务。
平台还先后加盟了“厦门市科学仪器设备资源协作共享平台”、“中科协开源绿色平台”等共享协作网络，进一步拓宽了对外服务窗口，加快推进了科研设施与仪器向高校、科研院所、企业、社会研发组织等社会用户开放，充分释放平台服务潜能，为区域经济实施创新驱动发展战略提供了有效支撑。
从1994年萨本栋微机电研究中心之议开始，到2002年萨本栋微机电研究中心正式挂牌并成为厦门市MEMS工程技术研究中心，再到2010年更名为萨本栋微米纳米科学技术研究院。平台经过25年的风雨历程，从学校“双一流”建设需要出发，以MIT、UC Berkerley等国际名校的微纳加工中心为建设模板，通过一系列改革举措，为培养学生、支持科研、服务社会等作出了显著成绩。
微纳加工测试公共服务支撑平台兼顾微电子、传感器、微能源、纳米材料与器件加工测试等。如您有半导体器件微纳加工及检测方面的相关需求，可联系以下老师咨询，或点击登录中心网址。
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